电加热井式退火炉是指采用电能加热的、内壁为陶瓷材料的矩形箱体,箱内承载着待退火的半导体硅晶圆片。该设备以井式设计为特征,箱体内上下状似井筒,加热元件长径比很大,可承载大量硅片进行一次性大面积退火。相比传统加热设备,电加热井式退火炉在多晶硅制造中有着广泛的应用,尤其在提高生产效率和降低硅片生产成本方面作出了重要贡献。
多晶硅晶圆在整个光伏产业链中占据着极其重要的地位,而井式退火炉作为多晶硅硅片制造过程中的重要工具之一,更是为多晶硅制造提供了有效的硅片低成本制造方案。其主要优势表现在以下两个方面:
首先,传统炉式退火设备只能退火小批次,生产率低,而采用井式退火炉既能进行大批量生产,也有助于提高硅片的质量。
而且井式退火炉所采用的加热方式更加环保、高效,内部加热电阻使用寿命长,炉膛温度均匀、控制精准。因此,具有用电量少、公用事业费用低、节能、环保等优点。其次,采用先进的井式加热方式,不但能够防止硅片的烧伤,而且可有效地降低生产成本。
作为光伏产业链中不可或缺的关键设备之一,电加热井式退火炉无疑将在多晶硅制造中发挥越来越重要的作用。在科技创新不断提升的今天,它必将成为推动我国太阳能产业快速发展的重要力量。